半導体製造装置用電気炉金属熱処理用ヒーターの設計・開発および製造
長年培った熱制御技術を通じて広く社会に貢献することに全社を挙げて取り組んでいます
ISO認証が更新されました(ISO9001 及び ISO14001)
当社製品は世界でトップクラスの半導体製造装置メーカー各社に採用され、拡散炉用ヒーター分野において確固たる地位を築いています。半導体微細化に対応した酸化・拡散/LPCVD装置を始め、次世代半導体デバイスの製造に必要とされる高度な熱処理技術へのご要望にお応えします。
創業の精神「創造」を基盤に磨き上げた金属熱処理ヒーター群は、自動車部品をはじめとした製造業界において、信頼性の向上・コストダウンの場面で必需品となっております。耐熱・耐食性の改善を地道に継続した結果、業界において揺るぎない地位を築いています。